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| HiPIMS电源的设计基础及研究进展 |
| 巩春志,吴厚朴,胡天时,田修波 |
| 2022,35(5):1-9 [摘要(840)] [PDF 811.19 K (438)] [HTML] |
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| 双极高功率脉冲磁控溅射技术薄膜制备研究进展* |
| 朱祥瑞,韩明月,冯蓬勃,孙玉强,李刘合 |
| 2022,35(5):10-22 [摘要(735)] [PDF 18.45 M (465)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射仿真技术研究进展∗ |
| 崔岁寒,郭宇翔,陈秋皓,吴忠振 |
| 2022,35(5):23-41 [摘要(777)] [PDF 12.67 M (394)] [HTML] |
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| HiPIMS的放电特性及其对薄膜结构和性能的调控* |
| 李坤,高岗,杨磊,夏菲,孙春强,滕祥青,张宇民,朱嘉琦 |
| 2022,35(5):42-55 [摘要(732)] [PDF 8.40 M (492)] [HTML] |
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| 基于高功率脉冲磁控溅射的Cr膜层研究进展 |
| 丁啸云,张津,田修波,吴忠振,连勇 |
| 2022,35(5):56-69 [摘要(624)] [PDF 55.92 M (469)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射制备金属氮化物涂层 |
| 魏永强,顾艳阳,蒋志强 |
| 2022,35(5):70-92 [摘要(663)] [PDF 78.30 M (459)] [HTML] |
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| HiPIMS沉积光电薄膜研究进展:放电特性和参数调控 |
| 张海宝,刘洋,陈强 |
| 2022,35(5):93-104 [摘要(559)] [PDF 11.55 M (320)] [HTML] |
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| 高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展 |
| 白雪冰,蔡群,张旭海 |
| 2022,35(5):105-115 [摘要(963)] [PDF 6.08 M (368)] [HTML] |
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| 高离化磁控溅射技术及其工业应用* |
| 马旻昱,刘亮亮,李体军,李熙腾,崔岁寒,吴忠振 |
| 2022,35(5):116-144 [摘要(620)] [PDF 57.44 M (405)] [HTML] |
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| 高引燃脉冲新HiPIMS模式对TiN/CrN多层膜结构和性能的影响 |
| 高凯晨,巩春志,徐啸尘,田修波 |
| 2022,35(5):145-154 [摘要(655)] [PDF 15.30 M (327)] [HTML] |
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| 电-磁场协同增强HiPIMS技术的CrAl靶放电行为及CrAlN薄膜制备 |
| 李春伟,田修波 |
| 2022,35(5):155-162 [摘要(756)] [PDF 9.64 M (358)] [HTML] |
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| 筒内高功率脉冲磁控溅射放电等离子体的空间分布及输运行为 |
| 崔岁寒,李体军,李蕊,吴忠灿,马正永,吴忠振 |
| 2022,35(5):163-171 [摘要(606)] [PDF 13.02 M (396)] [HTML] |
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| 微米压痕测量TiAlN薄膜断裂韧性的数字孪生方法 |
| 蒋智韬,高剑英,雷明凯 |
| 2022,35(5):172-183 [摘要(598)] [PDF 21.99 M (429)] [HTML] |
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| 高功率脉冲反应磁控溅射CrNx涂层的放电特性与组分结构 |
| 祁宇星,周广学,左潇,都宏,陈仁德,汪爱英 |
| 2022,35(5):184-191 [摘要(727)] [PDF 11.79 M (431)] [HTML] |
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| 脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响 |
| 高海洋,张斌,魏殿忠,但敏,金凡亚 |
| 2022,35(5):192-199 [摘要(607)] [PDF 5.95 M (347)] [HTML] |
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| 基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 |
| 张辉,巩春志,王晓波,张炜鑫,田修波 |
| 2022,35(5):200-209 [摘要(681)] [PDF 10.03 M (274)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射管内壁沉积Cr薄膜结构及性能 |
| 吴厚朴,田修波,郑林林,巩春志,张辉 |
| 2022,35(5):210-216 [摘要(587)] [PDF 6.67 M (341)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射制备纳米复合高熵碳化物(CuNiTiNbCr)Cx薄膜 |
| 李延涛,经佩佩,曾小康,刘茂,姜欣,冷永祥 |
| 2022,35(5):217-227 [摘要(758)] [PDF 40.80 M (452)] [HTML] |
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| HiPIMS制备TiB2、TiBN涂层及其等离子体性质 |
| 吴正涛,叶榕礼,李海庆,王启民 |
| 2022,35(5):228-235 [摘要(1190)] [PDF 7.43 M (465)] [HTML] |
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| HiPIMS复合热处理制备高纯Ti2AlC MAX相涂层 |
| 周定伟,李忠昌,王振玉,马冠水,柯培玲,胡晓君,汪爱英 |
| 2022,35(5):236-245 [摘要(653)] [PDF 26.43 M (326)] [HTML] |
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| HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控 |
| 高方圆,许亿,李国栋,李光,夏原 |
| 2022,35(5):246-253 [摘要(683)] [PDF 2.31 M (328)] [HTML] |
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| 高功率脉冲磁控溅射TiNb靶材等离子特性及其对薄膜性能影响 |
| 陈畅子,李延涛,曾小康,马东林,姜全新,冷永祥 |
| 2022,35(5):254-263 [摘要(532)] [PDF 16.92 M (288)] [HTML] |
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| 细长管内表面镀Cu过程中的空心阴极辉光电 |
| 高凯晨,刘仕远,巩春志,田修波 |
| 2022,35(5):264-271 [摘要(542)] [PDF 1.07 M (262)] [HTML] |
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| 脉冲偏压对316L不锈钢表面类金刚石薄膜腐蚀行为影响 |
| 陈东旭,郭阳阳,祁继隆,周艳文 |
| 2022,35(5):272-278 [摘要(591)] [PDF 6.93 M (407)] [HTML] |
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