张硕,范其香,郝雪卉,吴正环,马德政,曹凤婷,王铁钢
沉积偏压对涂层的结构与性能具有重要影响,为研究其对 AlCrTiN 纳米复合涂层成分、组织结构、力学与抗高温氧化性能的影响规律,采用磁控溅射技术,改变沉积偏压(?30、?60、?90、?120 V)制备四种 AlCrTiN 纳米复合涂层。利用 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜、纳米压痕仪等仪器表征涂层的组织结构、成分、力学性能和抗高温氧化性能。研究结果表明: 不同偏压下制备的 AlCrTiN 纳米复合涂层均为 NaCl 型 fcc-(Al,Cr,Ti)N 相结构。随着沉积偏压增大,涂层由沿(111)晶面择优生长转变为无明显的择优生长取向,晶粒尺寸降低,残余应力和硬度增大。偏压为?90 V 与?120 V 时,涂层表面更加致密, 具有更高的硬度和弹性模量。在 800 ℃与 900 ℃氧化 1 h 后,所有涂层表面均生成一层连续致密的 Al2O3 膜。随着沉积偏压增加,氧化膜厚度逐渐降低,表明抗高温氧化性能逐渐增强,这是因为高偏压下涂层组织更致密,且晶粒更细小。研究成果对 AlCrTiN 纳米复合涂层的综合性能提升与工程化应用具有一定指导意义。