郭宇婷, 刘中豪, 李尚, 李茂, 董选普, 李国娜, 文峰, 曹华堂
固体润滑材料WS2在航天航空等领域应用广泛,但纯WS2力学性能差,容易氧化,使用寿命短,限制了其应用。为改善纯WS2在大气中的力学性能及使用寿命,采用磁控溅射制备不同石墨靶溅射功率强化的WS2基纳米复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)对其微观结构及成分进行分析;利用纳米压痕仪和多功能摩擦磨损试验机及白光干涉仪分别研究薄膜的力学性能和摩擦磨损性能。结果表明:随着石墨靶溅射功率的增加,沉积速率增加,S/W原子比整体呈上升趋势,薄膜表面粗糙度减小,致密性有所改善,厚度增加,掺C薄膜的硬度和弹性模量较纯WS2薄膜有明显提高,薄膜的抗磨损性能和抗塑性变形能力变好。摩擦因数和磨损率随C溅射功率增加逐渐变低,在400 W时达到最低,摩擦因数约为0.18,磨损率为3.12×10-6 mm3/(N·m),此时WS2基薄膜的磨痕宽度窄且深度浅、磨痕光滑,潜在原因是在大气环境下(相对湿度约50%)摩擦过程中因其薄膜表面更加平坦致密,可抑制水分子在薄膜中的渗透以克服氧化,且C元素可以钝化薄膜的活性位点,减少水分子的解离吸附,不易反应。此外,sp2的富集也促使薄膜具有良好的摩擦学性能。研究结果可为后续开发具有优良耐磨减摩性能的涂层材料提供优化理论依据和技术指导。