阅读排行

  • 一年内发表的文章
  • 两年内
  • 三年内
  • 全部
Please wait a minute...
  • 全选
    |
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    徐鑫哲, 黄虎, 安鸿
    中国表面工程. 2025, 38(4): 1-22. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241125002
    摘要 (1645) PDF全文 (315)   可视化   收藏
    超疏水性在调控材料表面功能特性方面具有广阔的应用前景,超疏水表面的黏附性对水滴在其表面上的动态行为有重要影响。通过控制表面微结构、化学成分以及外界刺激等,可实现对超疏水表面黏附性的调控,该技术可广泛应用于微流体调控、防尘防污和雾气收集等领域。从自然界中具有特殊黏附性的超疏水生物体表面出发,系统探讨水滴与超疏水表面之间黏附行为的产生机制、调控理论及表征技术。在此基础上,综述近年来在调控超疏水表面黏附性方面的主要研究进展。研究表明,通过调整激光加工参数改变表面微结构、调控表面化学成分以控制表面能,均可实现对超疏水表面黏附性的精确调控。此外,借助外部刺激(如光照、磁场、温度等)还可实现超疏水表面黏附性的动态可逆调控。最后,探讨超疏水表面黏附性调控技术在智能响应材料和表面科学融合创新等方面的应用价值,强调其在自清洁、液体操控及药物运输等领域中的发展 潜力。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    马家辉, 程洁, 陈金池, 简雷铸
    中国表面工程. 2025, 38(5): 34-59. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241016001
    摘要 (1632) PDF全文 (363)   可视化   收藏
    芯片作为数字经济的基石,朝着集成化、低功耗化、智能化、功能化方向发展。化学机械抛光(Chemical mechanical polishing, CMP)是实现芯片表面超光滑、无缺陷的全局和局部平坦化制造的关键使能技术。抛光液中的磨料是化学和机械作用协同实施的“桥梁”,是CMP实现多种材料高效率、原子级光滑制造的关键,成为抛光液研究的重要一环。人们致力于开发用于芯片制造的高性能磨料,并取得了长足的进步。首先介绍了磨料在CMP材料去除中的作用机理和对抛光性能的影响,总结了典型磨料如SiO2、Al2O3、CeO2和金刚石在芯片CMP中的相关研究进展,重点介绍了不同种类磨料在CMP中的应用和改性策略。此外,还讨论了新型磨料与能场辅助抛光技术的结合和纳米尺度下磨料的CMP行为的研究新热点。同时对磨料在芯片CMP中的应用进行了前瞻性展望,旨在为后续研究提供有力的理论支撑与指导方向。
  • 综述
    孟凡威, 叶福兴, 姚远, 孙凯琪, 宋子祺
    中国表面工程. 2025, 38(6): 12-22. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240904001
    摘要 (1337) PDF全文 (174)   可视化   收藏
    为了应对航空发动机服役温度的升高对高性能热障涂层(Thermal barrier coatings, TBCs)材料的迫切需求,高熵陶瓷材料的合成及性能评价为新型TBCs材料的开发提供了新的思路。研究表明,由于存在四种独特的效应,与传统TBCs材料及单组元TBCs材料相比,高熵TBCs陶瓷的成分设计及性能调控灵活,综合性能也更为优异。总结了高熵热障陶瓷的研究现状,基于高熵陶瓷材料的微观结构及质点间成键性质从热导率、热膨胀性能、高温抗烧结性及相稳定性、力学性能及抗CMAS腐蚀性能等五个方面对高熵TBCs材料的组分设计及性能优化进行了分析总结。成分设计时,具有较大的质量差和离子半径差的不同组元成分进行固相合成,形成较大程度的晶格畸变,扩大声子碰撞几率,可降低热导率;电负性相差较小的阴阳离子可形成具有较弱键合强度的离子键,易于获得高的热膨胀系数,同样,形成较强键合强度的离子键有益于力学性能的提高;半径相差越大的元素离子竞争同一晶格点位,越易形成更为严重的晶格畸变,阻碍物质扩散,表现出迟滞扩散现象。研究旨在为高熵TBCs材料的成分设计及性能优化调控提供一定的理论指导。
  • 综述
    郜培丽, 解国新, 雒建斌
    中国表面工程. 2025, 38(6): 1-11. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250326002
    摘要 (1320) PDF全文 (361)   可视化   收藏
    新型智能润滑材料和表面具有按需响应、主动应变的特征,这种类生命体自调节机制赋予在役摩擦副自主感知外界环境刺激并进行界面润滑状态自适应调控的功能,为航空航天、军事武器等高端装备“在线感知-决策-执行”转型升级提供了新解决方案。同时,人工智能(AI)驱动的润滑材料逆向设计革新了传统试错模式,实现了摩擦副表面润滑基于需求的高效靶向定制,为构建满足各类复杂工况的高性能、高可靠润滑材料和表面体系提供了新路径。润滑材料和表面智能化发展正在逐渐重构机械表面界面科学研究范式,有望为前沿润滑理论和技术研究提供新的突破口。以智能润滑材料和表面技术及其AI创制为切入点,梳理具有自润滑、自修复、自诊断等功能的润滑材料和表面研究现状,以及AI加速其逆向设计的前沿进展,并对未来先进表面润滑材料智能化发展趋势进行展望。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    杨阔, 柴智敏, 戴媛静, 刘宇宏, 路新春
    中国表面工程. 2025, 38(5): 1-33. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250415001
    摘要 (1219) PDF全文 (491)   可视化   收藏
    作为新一代超宽禁带半导体材料,单晶金刚石(SCD)凭借其优异的物理特性(禁带宽度5.5 eV,击穿场强9.9 MV / cm,热导率22 W /(cm·K)),被视为突破硅基集成电路性能极限的理想材料。然而,其极高硬度(莫氏硬度10)和极强化学惰性使其表面加工面临重大挑战,特别是晶圆级平坦化技术已成为制约金刚石集成电路发展的关键瓶颈。聚焦集成电路制造需求,系统评述了单晶金刚石抛光技术的最新进展,重点分析了机械类、高能束和多场耦合三大类抛光方法的材料去除机理、影响因素及局限性。机械类抛光(如机械抛光和超声波辅助抛光等)工艺过程简单,但硬对硬摩擦易引入表面损伤,难以实现亚纳米级抛光;高能束抛光(如激光抛光、离子束抛光和等离子体抛光等)利用高能粒子代替磨粒来抛光,这类抛光存在选择性差、热影响区深、高能粒子注入等问题,难以实现低亚表面损伤及亚纳米级平坦化;多场耦合抛光(如化学机械抛光和等离子体辅助抛光等)通过场间耦合效应实现表面平坦化,但抛光工艺复杂且速率较低。尽管现有技术在不同应用场景中取得了一定进展,但仍无法完全满足亚纳米级精度、低损伤、高速率的抛光需求。未来的研究应致力于开发新型抛光技术,结合多种抛光方法的优势,推动单晶金刚石在高端芯片制造领域的广泛应用。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    赵光恩, 王成鑫, 陈剑雄, 黄煜华, 黄若辰
    中国表面工程. 2025, 38(5): 83-98. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241202001
    摘要 (1109) PDF全文 (245)   可视化   收藏
    化学机械抛光(CMP)是集成电路制造中实现晶圆表面平坦化的关键工艺。CMP终点检测技术通过实时测量晶圆表面薄膜的厚度以实现抛光压力的动态分区调节,从而精确控制晶圆表面形貌及材料去除率,对于确保抛光质量和均匀性至关重要。系统综述了CMP终点检测技术的研究现状,重点分析了离线检测方法(时间法)与在线检测方法(摩擦力法、光学法、电涡流法)的基本原理、技术特点及前沿进展。根据检测精度、多材料适用性和成本等指标对不同终点检测技术进行了综合评价,揭示了其在CMP工艺中的适用性及局限性。最后,为了满足先进制程对检测精度和可靠性的苛刻需求,探讨了终点检测技术在多物理信号融合、智能监测算法、设备集成化和低成本设计等方面的发展方向。
  • 综述
    韩冰源, 许建飞, 杜文博, 赵泳林, 崔方方, 李函, 朱胜
    中国表面工程. 2025, 38(5): 198-214. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240902001
    摘要 (1076) PDF全文 (221)   可视化   收藏
    类金刚石薄膜(DLC)因其卓越的耐磨性、低摩擦因数、高硬度等特点,在汽车工业、航空航天、机械制造等领域得到广泛的应用。为了延长机械零部件在磨损、腐蚀等环境下的服役寿命,目前开发了多种先进的DLC薄膜性能调控技术,实现了对机械零部件性能的强化。研究领域的相关内容和方法正在不断地丰富和完善,但目前缺少这类综述论文,此类论文对于引领整个行业和领域的发展显得尤为重要。从DLC薄膜的制备技术、工艺参数优化、元素掺杂改性、梯度构筑和表面织构化等方面,系统总结国内外相关耐磨性能的研究工作。大量研究发现,适当调控工艺参数可以提高DLC薄膜的硬度和耐磨性;元素掺杂可以改善DLC薄膜的结构和性能,实现高弹性恢复、低摩擦磨损;梯度构筑可以增强DLC薄膜的附着力、硬度、抗磨损性;表面织构化可以改善DLC薄膜的摩擦学性能。因此,通过精细调控工艺参数、掺杂元素和含量、表面结构设计等,可以有效改变DLC薄膜的微观结构,增强其附着力、硬度和抗磨损性,这些改进有助于延长机械零部件在严苛条件下的使用寿命。通过全面调整DLC薄膜的制造工艺及其他策略,以实现其耐磨性能的全面提升,填补了行业内对DLC薄膜性能优化方面系统性综述的空缺,对相关技术领域的进一步发展具有重要的指导性意义。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    王浩祥, 康仁科, 李生博, 董志刚, 高尚
    中国表面工程. 2025, 38(5): 60-82. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250609001
    随着集成电路、功率器件等高端半导体器件向微型化与高性能化发展,单晶硅、碳化硅、氮化铝、氧化镓、氮化镓等半导体材料的超精密加工面临原子级精度需求。作为半导体基片平整化与减薄加工的核心工艺,原子级磨削技术直接决定了器件的使役性能,成为制约芯片制造精度的关键技术瓶颈。为了实现半导体基片的原子级磨削加工,需要对半导体基片超精密磨削理论和工艺全面深入的理解。围绕半导体基片原子级磨削加工的表面材料去除机理和加工工艺两个方面,对国内外研究现状进行了系统的论述与总结,分析了目前半导体基片原子级磨削技术面临的难题及未来的发展趋势,以期为后续相关技术的深入研究提供理论支撑。
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    宋昕蓉, 施喆, 郭小喆, 李子昂, 付佳俊, 王青华
    中国表面工程. 2025, 38(4): 86-103. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241016002
    碳化硅具有低膨胀系数、高热导率、抗辐照等诸多优良特性,其制备的刹车材料近年来在轿车和飞机等制动系统中得到广泛应用。然而,碳化硅的硬度很大,使用传统加工工艺很难对其进行加工。同时,碳化硅的本征亲水特性使其表面易产生污垢和结冰,进而缩短材料使用寿命。提出一种激光-化学复合加工工艺制备超疏水碳化硅材料表面,通过纳秒激光烧蚀在碳化硅材料表面构造微纳结构,利用硅烷乙醇混合溶液修饰和热处理工艺,成功制得超疏水表面。通过激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜对超疏水碳化硅材料表面形貌进行表征,并根据EDS能谱和XPS能谱分析表面化学成分,阐明表面结构和表面化学对于表面润湿性的影响机理。超疏水碳化硅材料表面在性能表征试验中表现出优异的自清洁性、抗腐蚀性、抗结冰性和耐磨损性,这表明该激光-化学复合加工工艺能够制备性能稳定的超疏水碳化硅材料表面,最终得到一种性能良好的碳化硅材料表面的制备理论与方法。研究工艺成本低,有望为未来碳化硅的激光功能化制备工艺奠定基础,拓展碳化硅在不同领域的科学研究和工程应用。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    高健, 任兴云, 梁德旭, 张宏林, 周怀诚, 江亮, 余丙军, 钱林茂
    中国表面工程. 2025, 38(5): 99-106. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241229001
    化学机械抛光是实现砷化镓原子级精度表面加工的关键技术,其对材料去除的过程由摩擦化学作用主导。因此深入研究化学机械抛光中摩擦化学去除机理,有助于其加工表面质量的提升。借助原子力显微镜分别在酸性环境(pH值约为4)、中性环境(pH值约为7)、碱性环境(pH值约为10)下利用二氧化硅微球针尖对砷化镓表面在进行纳米磨损试验。采用透射电子显微镜对材料去除区域进行表征,同时结合密度泛函理论计算阐明化学机械抛光中的原子去除机制。试验结果表明,碱性环境下,砷化镓表面材料去除最为严重。透射电子显微镜分析结果显示材料去除区域晶格结构完整,表明摩擦化学反应占主导地位。密度泛函理论计算表明,碱性环境中的界面电荷转移最为明显,也表明OH-通过促进Si-O-Ga键桥形成和削弱Ga-As键的强度导致材料发生去除。研究结论还可为优化其他二元材料的化学机械抛光工艺提供指导。
  • 综述
    何浩, 范其香, 王铁钢, 刘艳梅, 曹凤婷
    中国表面工程. 2025, 38(6): 93-113. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250127001
    海洋生物污损频繁附着于海上设备表面造成设备损坏,严重影响海洋资源的开发,已成为海上设备亟需解决的重要难题。开发高效实用的防污手段一直是国内外海洋防污领域的研究重点,在多种防污手段中防污涂层因其防污效果出众、操作便捷等优势备受欢迎。介绍了传统防污涂层和新型防污涂层的研究进展,归纳了不同涂层的防污体系和研究现状,分析了各类涂层的防污机制,讨论了不同涂层的防污性能,系统阐述了各种涂层的防污特性和待解决的难题,最后提出协同防污策略的重要性,并展望了未来海洋防污涂层的发展方向。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    冯帅诚, 殷佳钦, 刘阳, 肖晨, 郭剑
    中国表面工程. 2025, 38(5): 119-132. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250226001
    超精密表面磨抛是制造高端氮化铝基宽禁带半导体芯片及器件的关键工艺。氮化铝为硬脆难加工材料,采用传统纳米磨削等工艺对其加工存在效率低和易损伤等难点。引入超声振动可以提高磨削加工中工件材料的去除率、降低其亚表面损伤。然而,目前对氮化铝超声振动辅助纳米磨削去除机理的认识尚浅,振幅和频率的影响规律和微观作用机制不明。为此,开展了不同条件下氮化铝表面超声振动辅助单金刚石磨粒纳米磨削过程的分子动力学仿真,从原子层面探究振幅和频率对纳米 / 亚纳米级材料去除和亚表面晶格损伤的作用机制。研究结果表明:增加振幅或频率可在降低磨削力的同时,提高材料去除率,降低表面粗糙度和亚表面晶格损伤。随着振幅的增大,磨削力线性减小,去除体积线性增大,位错分布范围减小,材料去除行为由单一的塑性域去除逐渐向复合去除方式转变。当频率达到1 GHz时,磨削力急剧下降。在超高频振动的影响下,工件局部出现高温,同时磨粒的冲击作用显著增强,导致去除体积大幅增加。此时,磨削表面呈现出均匀稳定的原子层状剥离现象,亚表面则近乎零损伤,无位错和非晶结构。研究结果可为硬脆半导体材料高效率、低损伤的超精密磨削加工工艺条件优化提供理论参考。
  • 技术基础
    石尔, 刘博文, 赵斌, 姜昌伟, 周武林
    中国表面工程. 2025, 38(4): 244-254. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240903003
    现有超疏水涂层在风力机叶片防覆冰应用中存在制备复杂和耐久性不足的问题。为解决这一问题,采用二步喷涂法在玻璃纤维增强环氧树脂基材上制备出接触角达156.1°的超疏水复合涂层。将疏水性的氟碳树脂作为粘合剂层喷涂后,再将γ-(2,3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷偶联剂改性的二氧化硅纳米颗粒分散体喷涂到半固化的粘合剂层,通过自由沉降使得纳米颗粒在氟碳树脂内均匀分布,并增加涂层的疏水性。研究表明:复合涂层表面形成典型的超疏水微纳米结构,涂层中各元素分布均匀。涂层经400目砂纸磨损160个周期后,接触角、滚动角分别保持在152.9°和8.7°。超疏水复合涂层表面在-12 ℃工况下,结冰粘结强度为97.6 kPa,相较未涂层表面降低了72.1%,延迟结冰时间长达2 413 s,相较未涂层表面增加了574%;模拟雨凇动态覆冰工况下,覆冰质量为4.63 g,相较未涂层表面减少了54.58%。二步喷涂法和自组装沉降技术有效提高了超疏水复合涂层的防覆冰性能和耐久性,为风力机叶片防覆冰领域的实际应用提供了新的解决方案。
  • 综述
    白凯文, 黄艳斐, 刘明, 张志强, 王海斗, 高瑞, 张寒冰
    中国表面工程. 2025, 38(4): 132-149. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241126003
    大气等离子喷涂是目前应用最广泛的热喷涂表面防护技术之一,深入研究其喷涂过程中的特性变化规律与机理,有助于从理化角度优化喷涂工艺,确保喷涂过程的可靠性和可重复性。综述了大气等离子喷涂过程中依次环环相扣的三个阶段:等离子射流、飞行粒子和涂层沉积,并结合试验监测与数值模拟,探讨了各阶段特征特性及其演变规律的相关研究。研究结果表明,在不同阶段中,不同影响参数决定了各阶段的关键特性:射流阶段的温度、速度和稳定性主要受喷枪内电弧能量和等离子体电离能量的影响;飞行粒子阶段的温度、速度和熔融程度取决于射流的加热加速作用、粒子与射流的相互作用时间以及粒子自身的物理性质;沉积阶段的熔滴铺展情况则主要由熔滴撞击时的状态及其与基体和下层熔滴的接触情况决定。对各阶段特性变化规律和机理的研究总结,为实现更可控的喷涂过程和更高的涂层质量提供了理论支持,并为喷涂工艺调整、程序优化和技术改进提供了重要参考。但当前研究仍存在一些挑战,如射流波动的消除以及多粒子堆叠与搭接的深入研究,仍需进一步探索。
  • 综述
    方祥, 马婧, 俞凯还, 李凝, 强力
    中国表面工程. 2025, 38(6): 41-79. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241126001
    随着现代工业和信息技术的迅猛发展,极端环境下对高性能摩擦与吸波材料的需求日益增长。得益于高导电性、独特的层状结构、优异的力学性能、化学稳定性以及丰富的表面端基,MXene材料已成为摩擦学与电磁波吸收领域的研究热点。然而,目前关于MXene基材料在上述领域的研究进展尚缺乏系统性总结。为全面梳理MXene基材料的研究现状,首先从其基本结构出发,系统性地总结了结构特征、主要制备方法及基础性能,并详细概述了MXene及其衍生物的制备技术,以及MXene基材料在摩擦学与吸波领域的作用机理与研究进展。通过对不同制备与处理方法的比较与分析,揭示了MXene基材料在改善摩擦特性、降低摩擦系数、增强吸波性能以及优化吸波带宽方面的显著优势。同时,针对MXene基材料在极端环境下稳定性不足、复合材料的设计复杂性以及制备成本较昂贵等问题,提出了潜在的改进策略。相关研究为摩擦学与电磁波吸收领域的研究提供了重要的理论依据与参考价值。
  • 综述
    姜涛, 李思宁, 曹红波, 王倩倩, 户胜越, 许康威, 陈令杰, 谢述锋, 李龙, 王喆, 田佳佳
    中国表面工程. 2025, 38(4): 115-131. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241030001
    海洋生物污损是海洋装备设施面临的最严重问题之一,显著威胁装备设施的服役性能和安全可靠性,研发能够显著提升装备设施防污性能的高性能、长期效、绿色环保防污技术是当前海洋防污领域的研究热点。综述现有常见防污技术的研究进展,在介绍海洋生物污损形成过程及危害的基础上总结了传统有机防污涂料的发展历程及优缺点;重点总结污损脱附型防污技术、污损阻抗型防污技术、仿生型防污技术以及新型环境友好型防污技术的研究现状,对其防污机理及特性进行概述,并指出各类防污技术存在的问题;从激光熔覆防污涂层及热喷涂防污涂层等入手介绍新型无机防污技术的研究进展及应用方向;对海洋防污技术发展面临的难点及未来发展方向和趋势进行展望,可为高性能、长期效、环境友好海洋防污技术的研发提供参考。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    田壮智, 班新星, 巴文兰, 朱建辉, 王宁昌, 惠珍, 栗正新
    中国表面工程. 2025, 38(5): 171-181. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250122001
    单晶碳化硅(SiC)是一种性能优异的宽禁带半导体材料,广泛应用于高功率电子器件和光电子领域。然而,高脆硬性和强化学惰性使得其高效、低损伤抛光难度极大。因此,基于光催化化学机械抛光工艺施加超声振动,研究超声辅助光催化的协同增效机制与多能场作用下材料去除机理,有助于推动多能场协同抛光方法的发展。通过不同频率(0、22、25、28、40 kHz)超声辅助光催化氧化性能表征和静态腐蚀试验,探究超声振动对羟基自由基生成速率和SiC表面氧化程度的影响规律;开展抛光工艺试验,分析材料去除率和表面粗糙度的变化情况。结果表明:施加22 kHz超声振动时,抛光液褪色时间229 s、腐蚀后试件表面氧元素含量2.94at.%、材料去除率503.47 nm / h、表面粗糙度48.28 nm。相对于光催化氧化,超声辅助使褪色时间降低117.90%、氧元素含量提高215.96%、材料去除率提高52.63%、表面粗糙度降低91.30%。在光催化化学机械抛光基础上引入超声振动,可以提高光催化剂活性和磨粒的动能,增强氧化速率和去除效率,实现更加高效的单晶SiC抛光。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    姜峰, 钱善华, 屈克松, 卞达, 倪自丰
    中国表面工程. 2025, 38(5): 107-118. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241226002
    氧化铈(CeO2)磨料广泛应用于光学玻璃的表面平坦化加工,其粒径尺寸对玻璃去除速率和表面质量有着至关重要的影响。现针对K9玻璃的高去除速率和高表面质量要求,研究五种不同粒径CeO2磨料在单一及混合使用条件下对K9玻璃化学机械抛光(CMP)性能的影响。采用H2O2处理CeO2抛光液来对材料的总去除速率进行量化分解,并结合XPS表征分析,揭示不同粒径CeO2磨料的去除机制。结果表明,随着单一CeO2磨料粒径的增大,K9玻璃的去除速率经历了先增大后减小的变化,抛光后的表面粗糙度经历了先减小后增大的变化,并在粒径50 nm和300 nm时分别获得较高的材料去除速率(99.53 nm / min)和较低的表面粗糙度(1.27 nm)。同时,粒径50 nm与300 nm的混合CeO2磨料显著提高K9玻璃的去除速率,当二者的质量比为1∶2时,K9玻璃获得了良好的去除速率(121.72 nm / min)和良好的表面粗糙度(1.24 nm)。CeO2磨料的机械磨削作用与其粒径呈正相关,而化学活性则与粒径呈负相关。CeO2磨料化学机械协同作用是材料去除的主要方式,混合磨料体系结合了小粒径磨料化学作用强和大粒径磨料磨削作用强的优势,提升了K9玻璃的抛光性能,其研究结果将为K9玻璃等光学材料光整加工的抛光液研发提供较好的参考。
  • 综述
    丛胜乙, 周红霞
    中国表面工程. 2026, 39(3): 50-70. https://doi.org/10.11933/CSE2026165
    由于在耐腐蚀方面的突出特点,冷喷涂Zn涂层受到很多学者的关注,但是现有冷喷涂Zn涂层的研究相对较少,综述性的论文缺乏。通过查阅近些年冷喷涂Zn涂层相关文献,对冷喷涂Zn及Zn合金涂层和Zn基复合涂层的研究进展进行了归纳总结。对冷喷涂纯Zn涂层的组织和性能进行了介绍和总结;对冷喷涂Zn合金涂层、Zn-陶瓷复合涂层以及多元复合涂层的研究现状进行了梳理,概括并整理了主要的研究内容和结论,总结了目前冷喷涂Zn涂层中常见的添加相及其对涂层性能的影响,包括涂层的力学性能、摩擦学性能以及耐腐蚀性能等;总结了近些年已有报道中冷喷涂Zn基涂层的后处理技术,包括热处理及喷丸后处理技术,讨论了后处理工艺对冷喷涂Zn基涂层的影响。对现有冷喷涂Zn涂层的研究现状进行总结,并对其未来的发展进行了展望。
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    王继强, 徐艳桦, 高蕴礼, 闫永达, 耿延泉
    中国表面工程. 2025, 38(4): 42-63. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250513001
    纳秒激光直写(NDLW)是一种通过纳秒脉冲激光束在材料表面实现局部加工的技术,广泛应用于微米尺度结构的制备。该方法通过激光烧蚀或光化材料,实现对材料表面进行刻蚀与形貌调控。通常,经NDLW处理的抛光金属表面表现出(超)亲水性,随后通过环境空气中有机物的吸附、低温退火或激光二次处理等绿色环保处理方式,可实现表面润湿性的转变,获得(超)疏水性表面。所制备的超疏水表面具有防霜防冰、流体减阻、抗菌等多种优异性能,在航空航天、生物医疗等领域具有广阔的应用前景。系统阐述润湿性调控的理论基础及纳秒激光加工金属材料的物理机制,重点综述在无化学修饰剂参与的条件下,通过环境友好型处理方式实现金属表面由(超)亲水性向(超)疏水性转变的研究进展,并探讨相关转变机制。最后对当前研究现状进行总结,并提出未来发展方向,旨在为相关领域研究人员提供全面的参考与借鉴。
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    王涛, 王紫婷, 徐学张, 时礼平, 李蒙, 饶思贤
    中国表面工程. 2025, 38(4): 23-41. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241119001
    随着柔性电子、微机电系统以及集成电路的快速发展,材料表面微加工需求日益迫切。现有湿法工艺及基于半导体的表面微加工技术在加工效率和环保等方面存在诸多局限。大气压冷等离子体射流表面微加工技术具有绿色环保、成本低廉、温度低、纯干法、无机械接触、活性强等优点,可以实现材料表面局域改性、图形化刻蚀以及功能薄膜沉积等,在表面微加工方面应用潜力巨大,但是对大气压冷等离子体射流表面微加工的研究进展尚缺乏系统综述。总结和分析大气压冷等离子体射流产生方式及常用电极结构形式;重点阐述大气压冷等离子体射流材料表面微加工技术的研究现状;探讨等离子体射流表面微加工技术目前还存在的主要问题,并指出其未来发展方向,以期增进对大气压冷等离子体射流表面微加工新方法和新技术的认识,提升大气压冷等离子体射流在柔性电子、微机电系统以及集成电路等先进制造领域的应用水平。
  • 多能场加工表面完整性专栏
    于梦秋, 殷振, 安庆龙, 李常平, 梁泽慧, 寇玥
    中国表面工程. 2026, 39(2): 84-96. https://doi.org/10.11933/CSE2026301
    Cf / SiC复合材料具有高硬度、高脆性、各向异性和不均匀性等特点,在传统机械加工过程中易出现基体开裂、纤维拔出等加工缺陷,严重影响零部件的服役性能。为解决上述问题,研制一种单激励纵扭超声椭圆振动车削装置。对单激励纵扭超声椭圆振动车削装置进行结构设计与刀尖运动轨迹分析;通过仿真分析,获得该装置的理论谐振频率、幅频特性曲线与输出端位移;通过阻抗与振幅测试验证该装置的实际振动特性与设计预期的一致性;开展Cf / SiC复合材料纵扭超声椭圆振动车削试验,评估该装置的切削加工性能。试验结果表明,与传统车削相比,纵扭超声椭圆振动车削可降低切削力24%~26%;当纵向振幅为6 μm时,工件表面纤维拔出和凹坑显著减少,表面质量显著改善;相比于传统车削,纵扭超声椭圆振动车削可降低刀具磨损面积约79.95%,当纵向振幅为6 μm时,刀具后刀面的磨损面积最小,平均为50 150 μm2
  • 综述
    周新朝, 杨佳俊, 王晓博, 金泽枫, 张力文, 陈华伟
    中国表面工程. 2025, 38(6): 23-40. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250714003
    精准医疗的发展亟需高效、稳定且多功能的生机界面。大自然中丰富的微纳结构与功能机制为生机界面设计提供了重要的灵感源泉,但面向精准医疗的生机界面仿生设计仍然缺少深入、系统的综述研究。系统梳理生机界面设计中的典型仿生策略,重点介绍防粘、粘附增强、液体定向传输与微针穿刺等生物功能结构的原理及其在界面构建中的应用价值,探讨激光加工、3D打印等前沿制造技术在实现多尺度仿生结构制造方面的优势与局限。结合精准医疗领域中的典型应用实例,包括防粘电刀、粘附贴片、可穿戴微流体诊疗传感器与药物递送系统,展示出仿生结构在提升界面适配性、功能集成度与临床适用性方面的显著优势。最后,展望人工智能、智能响应材料、多材料3D打印等新兴技术对推动仿生生机界面发展的重要作用。主要提出结合智能材料的动态化仿生设计和结合人工智能的智能化界面设计的指导性观点,可填补行业和领域目前缺少这类综述文章来引领的空白,对未来精准医疗中生机界面的仿生设计制造的发展具有一定借鉴意义。
  • 综述
    胡明超, 赵运才, 王慧鹏, 黄艳斐, 邢志国, 朱合法, 郭伟玲, 王海斗
    中国表面工程. 2025, 38(4): 179-197. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240716002
    铁基非晶合金以其优异力学性能、软磁性能和耐磨耐腐蚀性能,被广大研究者所关注。但铁基非晶合金块体材料的室温脆性及尺寸限制严重影响其在表面防护中的应用,而铁基非晶涂层在突破非晶合金块体材料的室温脆性及尺寸限制的基础上还保持了其高硬度、高耐磨耐腐蚀性能的特点,使其能出色地应用于零件的表面防护,因此针对铁基非晶涂层的研究现状进行系统地总结。主要从铁基非晶涂层材料、涂层制备技术、涂层耐磨耐腐蚀性能以及实际应用四方面综述了近年来铁基非晶涂层的研究进展。结果表明:铁基非晶涂层材料中“Fe-ETM-LTM-M”型的铁基非晶合金粉末的玻璃形成能力最高,雾化法制备出的铁基非晶合金粉末最适用于非晶涂层制备;热喷涂技术制备出的涂层成分均匀,结构致密;激光熔覆技术制备出的涂层能与基体形成冶金结合,结合强度高。因此热喷涂技术和激光熔覆技术成为制备铁基非晶涂层最常用的两种技术,并且都可通过相应的技术调整或添加辅助场手段使制备出的铁基非晶涂层性能更佳;在制备涂层过程中,调配元素组成、增强相的加入和预 / 后处理都可以为铁基非晶涂层的耐磨耐腐蚀性能的改善做出贡献,扩大了其在复杂工况中的应用前景;铁基非晶涂层通过科研技术人员的性能调控,已在军事、核工业、电力材料防护等方面发挥关键作用。从上述四个不同的角度阐述了铁基非晶涂层的性能提升以及实际应用现状,以期为广大铁基非晶涂层开发的科研技术人员提供参考。
  • 综述
    张燕珂, 高辰珂, 叶羽敏, 刘文娜
    中国表面工程. 2025, 38(6): 80-92. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241007002
    柔性可穿戴电子器件因其轻薄便携、集成度高以及保形性好等特点在医疗保健、运动跟踪及环境监测等领域获得广泛关注。然而,特殊的使用环境使得其长期稳定性受到外界环境及受试者体表分泌物等复杂水合环境的挑战。超疏水表面因其特殊的防水、自清洁、抗腐蚀、抗菌等功能,为可穿戴电子器件及其供能设备的性能提升及延寿提供了新契机。简述了柔性可穿戴电子器件的研究进展;揭示了超疏水表面的主要原理和影响因素;汇总了超疏水表面的主要制备方法及其各自优缺点;简述了超疏水表面在可穿戴传感器、能量转化器件及储能器件方面的应用;指出高机械稳定性、良好的环境耐久性以及高透光率是未来超疏水表面在可穿戴器件上实现应用与发展的重点与难点。
  • 再制造工程
    朱胜, 王晓明, 韩国峰, 杜文博, 赵阳
    中国表面工程. 2026, 39(1): 2-8. https://doi.org/10.11933/CSE2026001
    面向现场复杂环境的移动式增材修复与再制造技术面临着作业环境与对象多约束、修复材料质域离散、修复质量准确调控与评估三个方面的挑战,以解决面向现场的移动式增材修复与再制造技术共性基础性问题为目标,阐述现场移动式增材修复与再制造技术的内涵及面临的挑战,详细概述现场移动式增材修复与再制造系统构成和主要功能,系统分析移动式增材修复与再制造技术主攻方向及技术路线,通过突破特殊环境或无法拆卸装备关重件的现场增材修复与再制造的关键技术点,开发满足现场作业要求的移动式装备,建立设计、材料、工艺、装备等一系列新的技术体系,可为能源化工、重载机械、航空航天等领域重大装备损伤零件现场优质高效修复提供技术支撑。
  • 多能场加工表面完整性专栏
    郑中鹏, 王岩, 李文辉, 尹晓明, 董颖怀, 赵静楠, 王舒楠, 程丽君, 徐旻
    中国表面工程. 2026, 39(2): 20-45. https://doi.org/10.11933/CSE2026312
    钛合金因其高强度和优异的耐腐蚀性能,在航空航天、生物医学等领域得到广泛应用。然而,钛合金难加工特性导致传统磨削表面质量差、材料去除率低等问题。为克服传统磨削钛合金工艺的局限性,能量场辅助加工技术逐渐成为研究热点。其中,超声辅助磨削通过高频微幅振动与常规磨削运动耦合,在工件与刀具之间形成周期性“接触-分离-接触”加工模式,改变材料去除机制,显著降低磨削力与磨削温度,提高工件的表面完整性。系统回顾和总结钛合金超声辅助磨削材料去除行为研究进展,涵盖耦合运动特性模型、材料去除机理、切削力模型、工具磨损机理与预测模型、表面创成与损伤演化机理,并探讨超声多能场协同作用下的材料去除行为。研究表明,超声辅助磨削可提升表面完整性30%~50%,降低刀具磨损40%,为钛合金的高效、精密、低损伤加工提供理论指导与工程应用前景。
  • 技术基础
    张凡曦, 谢宇鹏, 王雅茹,胡耀程, 司怡昕, 陈晨, 王盛
    中国表面工程. 2026, 39(3): 71-82. https://doi.org/10.11933/CSE2026176
    为了研究基体预处理对加速器中子源靶的抗氢脆层结构和性能影响,通过不同目数的玻璃球处理基体,使用磁控溅射在其表面沉积不同厚度的钽涂层,并利用LSCM、SEM、XRD、XPS和探针式轮廓仪等表征方法分析钽涂层在预处理基体表面的生长机理。研究结果显示,随着喷砂目数的增大,基体表面粗糙度降低,而适当增大表面粗糙度会使抗氢脆层更好的附着在基体表面,具有更强保护性能。当钽涂层厚度增加时,其结构出现α-Ta至β-Ta的相转变。所有经过预处理的基体在沉积20 μm钽涂层时均无开裂和脱落显现,且在220和360目玻璃球处理下的基体表面所沉积涂层具有更高的均一性和平整度。此外,基体结构会影响溅射原子在其表面的扩散和积聚,进一步影响涂层的应力。通过对不同样品进行分析,发现在同一磁控溅射参数下,采用220目的玻璃球对基体进行喷砂处理可以获得平整而致密的表面形貌,对应沉积的20 μm钽涂层的应力仅为0.35 GPa。研究成果对制备一个稳定且高效的AB-BNCT中子源靶材具有重要指导意义,可解决加速器中子源靶抗氢脆层工程应用的关键问题。
  • 综述
    郎模, 周光妮, 罗思海, 胡爽, 张怀林, 李禹良, 彭睿祥, 何卫锋
    中国表面工程. 2026, 39(3): 1-19. https://doi.org/10.11933/CSE2026164
    镍基单晶高温合金因其优异的高温力学性能,常用于航空发动机和工业燃气轮机涡轮叶片。极端服役条件下,镍基单晶高温合金容易出现疲劳、磨损、腐蚀和氧化等损伤,严重威胁航空发动机/燃气轮机服役安全。激光冲击强化作为一种先进表面强化技术,其原理是通过激光诱导冲击波使材料表面发生剧烈塑性变形,改变微观结构,同时引入残余压应力,进而提高合金的抗疲劳性能。当前,激光冲击强化在涡轮叶片用镍基单晶高温合金上已有一定研究,但缺乏系统总结。从不同类型激光冲击强化技术(包括传统大能量激光冲击、无吸收层小能量激光冲击、温激光冲击和飞秒激光冲击)特点出发,对比这些技术对镍基单晶高温合金微观组织和性能的影响以及各自的优缺点,探讨镍基单晶高温合金激光冲击强化领域目前面临的困难和挑战,并对未来发展趋势进行展望。
  • 综述
    唐雨婷, 田盼, 汪洋, 李生, 刘家琪, 刘兰轩, 李冬冬, 秦卫华, 陈文锐
    中国表面工程. 2025, 38(5): 182-197. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241022001
    以防冰涂层为代表的工程机械表面防除冰策略被广泛研究,然而大量工作聚焦于讨论防除冰机制和方法,较少涉及防冰涂层在工程应用领域的研究现状和重难点问题,因而须对当前防除冰技术在工程应用领域的研究现状和关键问题进行梳理和分析。当前防冰技术研究的重点在于克服传统方法效率低、成本高等问题,研究人员基于仿生学原理,开发了多种防冰涂层技术。总结超疏水、超润滑以及抗冻蛋白等仿生防冰涂层的防冰机制及其制备工艺,重点探讨仿生防冰涂层面向工程化应用的性能评价方法、施工工艺研究以及应用验证。提出仿生防冰涂层在工程化应用中所面临的挑战与局限,并对未来的研究趋势进行展望。目前仿生防冰涂层的研究和制备取得显著进展,为实现涂层广泛工程应用,仍须进一步优化涂层防冰性能、简化工艺流程并建立防冰综合评价体系。综述仿生防冰涂层的研究现状可为防冰涂层的工程应用提供思路与方法。
  • 特邀专栏:高端芯片原子级磨抛技术
    李弘恺, 韩子栋, 王金龙, 陈明尚, 张彤
    中国表面工程. 2025, 38(5): 133-146. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250501001
    集成电路(Integrated circuit,IC)制造的快速发展对化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,CMP)工艺的精度要求愈加严格。面向金属CMP工艺,实现精确在线终点检测是保障材料去除量可控及可靠工艺质量的技术基础。与基于摩擦或光学等其他常规在线终点检测方法相比,电涡流检测方法具备灵敏度高、响应速度快且抗干扰能力强等优势,是目前有效解决铜CMP工艺过程中晶圆表层铜膜厚度在线检测问题的最优方案。针对纳米级金属薄膜厚度检测问题,通过建立电涡流传感器在电磁场与电路耦合作用下的仿真模型,揭示了检测线圈和检测电路信号转换模块的基础参数对检测性能的作用规律,并开展电涡流传感器研制工作,提出了器件优化设计方法。在此基础上,进一步揭示了提离距离波动和环境温度变化等对于检测线圈的影响规律,并分别建立测量误差量化评估模型与特征分量解耦计算方法。最后,通过搭建纳米级金属薄膜厚度电涡流检测系统,开展相关检测性能试验。根据试验结果,自研电涡流检测系统对于铜薄膜厚度可在1.5 μm大量程下实现纳米级精度测量。相关研究工作将助力高质量磨抛工艺中高精度在线检测技术的发展。
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    朱志伟, 李凯敏, 李宏驰, 张霖, 朱利民, 徐江海
    中国表面工程. 2025, 38(4): 74-85. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20241231002
    玻璃微透镜阵列在消费电子和生物传感等领域具有广泛应用,玻璃模压成形被认为是该类元件批量化生产中极具前景的制造技术。由于微透镜阵列结构的复杂性,模压成形过程中存在玻璃填充不均匀和应力分布复杂等问题,导致成形质量较低。为优化模压工艺,结合有限元仿真和试验测试系统研究微透镜阵列成形过程中玻璃的填充行为。建立玻璃模压成形有限元模型,揭示模压温度、模压速率、摩擦因数、透镜中心间距等因素对微透镜阵列填充行为和应力分布的影响规律。试验与仿真结果具有很好的一致性,验证了仿真模型的正确性。最终,采用550 ℃的模压温度、0.01 mm / s的模压速率和110 μm的下压深度,在D-ZK2玻璃平面预形体上模压获得均匀一致的微透镜阵列,表面粗糙度Sa为4.2 nm,单个透镜面型峰谷误差约为1.6 μm,成像分辨率为203.2 lp / mm。
  • 表面工程与综合防护
    牟泓霖, 马国政, 蔡志海, 朱咸勇, 刘明, 王海斗
    中国表面工程. 2026, 39(1): 189-214. https://doi.org/10.11933/CSE2026018
    热障涂层是航空航天等领域热端部件防护核心技术,高熵化已成为其材料体系重要发展方向,但当前针对高熵化背景下涂层结构演化、损伤机理及创新方向的系统综述较缺乏,难以支撑行业研用协同。梳理涂层应用需求变化,阐释其低热导率阻热与高发射率散热协同的服役机理,分析热氧化物生长等关键损伤机理,重点阐述高熵化涂层的创新方向——结构梯度化与复杂化(突破传统单一结构局限)、粘结层与面层材料多元化及高熵化(解决传统材料高温失效问题),并展望计算材料科学驱动的多主元涂层设计及难熔高熵涂层应用前景。研究表明,高熵化可显著提升涂层高温稳定性与抗损伤能力,是高性能涂层研发关键路径。研究结果填补了高熵化背景下涂层“结构-机理-方向”系统整合空白,解决了该领域综述缺乏系统性的问题,能为涂层研发提供指导,助力研用协同。
  • 表面激光制造与增材制造
    黄智泉, 李长久, 贺定勇, 陈茜, 赵军军, 高站起, 王重阳
    中国表面工程. 2026, 39(1): 275-297. https://doi.org/10.11933/CSE2026023
    堆焊和热喷涂作为现代材料表面工程领域的核心技术,在工业制造与装备修复中发挥不可替代的作用。以堆焊技术向表面工程融合并拓展的历程回顾为切入口,重点阐述堆焊及热喷涂领域近10年来关键技术现状和发展趋势。在堆焊领域,从材料、工艺和设备等方面对电弧堆焊、高能束堆焊和特种堆焊技术的技术发展现状进行阐述,并对堆焊技术在各行业中的应用状况进行介绍。在热喷涂领域,针对冷喷涂、等离子喷涂物理气相沉积、悬浮液等离子喷涂、爆炸喷涂等当前技术研究热点进行简要介绍,对热喷涂耐磨涂层、热障涂层、耐蚀涂层和功能涂层的应用进行概述。针对堆焊及热喷涂技术未来的发展趋势,指出高端装备堆焊材料、复合堆焊技术以及堆焊过程的自动化、智能化和柔性化是未来堆焊技术的发展方向;开发新材料和新工艺以及提高涂层致密性是热喷涂技术的发展方向,可为堆焊和热喷涂技术发展和行业应用提供理论支撑与方向指引。
  • 综述
    贾丙森, 许文举, 李景锋, 刘晓红, 吉利, 李红轩, 王坤杰
    中国表面工程. 2025, 38(4): 150-165. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240326001
    MAX相碳化物陶瓷是一类非常有前景的高温结构材料,多种化学键的共存使其具有陶瓷和金属双重性能以及优异的化学稳定性、耐腐蚀、抗氧化性、耐摩擦磨损和可加工性等潜在优势,有望解决极端环境中关键运动部件的宽温域润滑和磨损问题。以MAX相碳化物陶瓷材料的宽温域润滑性能为中心点,介绍了几种典型的MAX相的制备工艺及宽温域润滑研究现状,详述了常见MAX相材料体系的性能特点,阐明高温环境下材料元素和结构的演变规律及其与高温润滑的关系;分析了MAX / 金属、MAX / 陶瓷及其他复合体系协同润滑的作用,总结了MAX 相作为增强相在协同摩擦、高温摩擦中的磨损机理;另外,对新型高熵MAX相陶瓷的设计和多元素固溶所存在的关键问题进行讨论,阐明高熵化对MAX相的高温摩擦学性能的影响机制。为设计新型宽温域自适应润滑材料提供新思路和理论依据。
  • 再制造工程
    林建军, 谢一鸣, 孙哲, 刘玉欣, 吕耀辉
    中国表面工程. 2026, 39(1): 23-31. https://doi.org/10.11933/CSE2026003
    增材再制造技术可实现钛合金构件直接成形,但再制造构件沉积态力学性能低于或与铸造性能相当,难以满足增材再制造直接沉积直接使用的应急需求。提出采用脉冲等离子弧增材再制造修复钛合金表面的方法。研究脉冲等离子弧表面沉积对再制造钛合金构件微观组织及力学性能的影响规律。研究结果表明:脉冲等离子弧沉积钛合金表面粗糙度及硬度与沉积冷却速度有关,其沉积态显微组织为针状马氏体及魏氏体混合组织;在沉积过程中脉冲频率对熔滴过渡扰动作用提高了沉积层冷却梯度,进一步细化了原始晶粒,并且受多层热循环影响,促进沉积层二次α相析出,提高了等离子弧增材再制造修复钛合金力学性能界面强度,且70 Hz工艺条件力学性能最优达到锻造水平。采用脉冲等离子弧增材再制造钛合金的方法可有效提高在线修复构件沉积态的力学性能,可为先进装备修复提供理论和技术基础。
  • 再制造工程
    郑汉东, 王璐瑶, 刘渤海, 李凯, 张强, 陈意
    中国表面工程. 2026, 39(1): 41-49. https://doi.org/10.11933/CSE2026005
    高端装备具有技术含量高、研制周期长、结构功能复杂、服役条件苛刻等特点,其研制需跨学科、跨行业、跨地域协同推进,再制造是其全生命周期管理的核心环节。以航空发动机为典型案例,剖析高端装备再制造价值链场景活动,揭示当前存在的设计与制造接口耦合复杂、信息互通不足、再制造知识沉淀与新型号研制脱节等问题,构建“价值链主体-价值活动-研制全生命周期-关键技术支撑”四维度再制造价值链框架,明确设计所、制造厂、供应商、用户、科研机构与再制造企业的协同分工,提出数据智能、流程智能、平台智能和敏捷智能系统工程四类关键技术,分别通过多模态数据闭环、业务流程重构、多主体动态激励、跨学科迭代优化提供支撑。该价值链可降低全寿命周期成本、延长装备服役寿命,实现“修旧超新”与新装备跨代升级,提升产业链韧性与自主可控能力,形成人工智能与高端装备制造业融合的新质生产力。目前在组织激励机制、数据互联共享和模型互操作等方面仍有不足,未来需在组织机制、标准规划及跨领域应用上形成引领示范,推动产业高质量发展。
  • 特邀专栏:功能性表面精密制造及检测
    张景然, 毕研瑞, 靖博文, 乔健, 于淼, 石广丰, 李晶
    中国表面工程. 2025, 38(4): 64-73. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20250302002
    肌红蛋白的检测对于预防急性心肌梗死具有重要意义。基于聚焦离子束、磁控溅射、滴涂三种方法相结合制备二硫化钼-金-正方形阵列结构以作为复合表面增强拉曼散射(SERS)基底,以用于肌红蛋白的高灵敏检测。采用聚焦离子束方法制备不同边长和不同间距的正方形阵列结构。当正方形边长为300 nm时,相邻正方形间距(504、424、344、264 nm)的变化使其纳米孔的状态由分离到刚接触至相互叠加,且阵列结构的一致性高。采用该SERS基底检测10-5 mol / L的R6G溶液,试验结果表明,与相邻正方形纳米孔为分离或叠加状态相比,边长300 nm、间距424 nm的正方形阵列结构(刚接触状态)检测R6G溶液的增强强度最高。其次,与Au-MoS2-L1S2和Au-L1S2相比,MoS2-Au-L1S2复合SERS基底检测10-6 mol / L R6G分子的拉曼强度最高,其检测R6G溶液拉曼强度的标准偏差为4.66%,且检测R6G溶液的分辨率为10-8 mol / L。此外,在生物蛋白分子检测方面,采用该复合SERS基底能够检测0.02 μg / mL的肌红蛋白分子,实现了对肌红蛋白分子的高灵敏度检测。
  • 技术基础
    任小勇, 刘凯学, 李刚, 冯韶伟, 王婕, 任一龙, 程洁, 高学敏
    中国表面工程. 2025, 38(6): 199-208. https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20240415001
    钛合金紧固件进行表面处理是防止其在装配或拆卸中发生“黏着”和“咬死”现象的主要方法之一,研究经过不同表面处理后钛合金样品的摩擦磨损特性,对设计高可靠性钛合金紧固件具有重要意义。以表面未处理钛合金(LT)、脉冲阳极氧化处理(PA)、脉冲阳极氧化和涂铝复合处理(PA-Al)、脉冲阳极氧化和涂MoS2复合处理(PA-MoS2)四种表面状态的TC4钛合金为测试对象,以TC4钛合金球为对磨副,对不同表面状态TC4钛合金摩擦磨损特性展开研究。结果表明,在载荷为1和4 N的测试载荷下,LT样品的磨痕最宽且最深,摩擦因数波动幅度大,平均值约为0.53,磨损机理主要表现为犁削和黏着磨损;PA-Al样品的磨痕形貌为不连续剥落状,摩擦因数波动较小,稳定值约为0.58;PA-MoS2样品磨痕为较浅的连续状,摩擦因数波动较小,稳定值约为0.25;PA样品磨痕最窄,摩擦因数约为0.16。所测试样品的磨损率从高到低顺序为PA-Al>PA-MoS2>LT>PA,表明经过脉冲阳极氧化处理的TC4钛合金的减摩耐磨性最佳。
  • 技术基础
    王安宇, 王权, 莫继良, 熊庆, 邱晓丽
    中国表面工程. 2026, 39(3): 95-106. https://doi.org/10.11933/CSE2026166
    为改善铜基粉末冶金材料的摩擦学性能,通过在铜基粉末冶金材料制备的摩擦块表面加工沟槽,并进一步在沟槽填充灰铸铁(HT300)材料,得到原始摩擦块、沟槽摩擦块、填充灰铸铁摩擦块三种具有不同表面特性的试样。采用面-面接触方式对具有不同表面特性的摩擦块试样与摩擦盘试样开展摩擦学试验,结合有限元模拟和数值分析,深入探讨表面沟槽与灰铸铁填料协同作用对铜基粉末冶金材料摩擦学行为的影响机理。结果表明,具有不同表面特性的铜基粉末冶金摩擦块呈现出不同的磨损特性和界面接触状态,最终产生不同的系统响应。相比原始摩擦块和沟槽摩擦块,填充灰铸铁摩擦块能够显著提升盘-块界面贴合度,扩展界面接触区域,从而缓解应力集中现象,有效改善界面磨损状态;同时,填充灰铸铁摩擦块还能减小盘-块界面接触倾斜角,从而提高系统的稳定性,有效削弱振动及噪声强度。因此,表面沟槽与灰铸铁填料相结合的表面创新设计,极好地满足了改善铜基粉末冶金材料摩擦学性能的要求。