Cu/Co多层膜表面粗糙度及织构演化机制

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

李玮，王炫力

Evolution of Surface Roughness and Texture in Cu / Co Multilayers

LI Wei, WANG Xuanli

中国表面工程 . 2023, (2): 138 -145 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220331004

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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