Cu/Co多层膜表面粗糙度及织构演化机制

李玮，王炫力

中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (2) : 138-145.

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (2) : 138-145. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220331004
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Cu/Co多层膜表面粗糙度及织构演化机制

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Evolution of Surface Roughness and Texture in Cu / Co Multilayers

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