抛光垫表面微细结构对抛光性能的影响试验

熊强，蔡伟明，路家斌，刘文涛，李卫中

中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (2) : 200-211.

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (2) : 200-211. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220720002
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抛光垫表面微细结构对抛光性能的影响试验

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Experiment on the Effect of Polishing Pad Surface Microstructure on Polishing Performance

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