单晶金刚石表面平坦化技术的发展与挑战

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20250415001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 1-33. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250415001

特邀专栏：高端芯片原子级磨抛技术

单晶金刚石表面平坦化技术的发展与挑战

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Development and Challenges of Surface Planarization Technology for Single Crystalline Diamond

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-04-15	2025-06-18	2025-07-09	2025-10-23
发布日期
2025-09-28

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