气体团簇离子束技术的发展与挑战

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240909002

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (2) : 217-232. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240909002

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气体团簇离子束技术的发展与挑战

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Development and Challenges of Gas Cluster Ion Beam Technology

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-09-09	2024-10-31	2024-10-31	2025-04-23
发布日期
2025-06-26

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