大间隙射频等离子体对氟硅氧烷丙烯酸酯改性的参数调控

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240328001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (3) : 384-393. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240328001

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大间隙射频等离子体对氟硅氧烷丙烯酸酯改性的参数调控

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Parameter Regulation on Large-gap Radio Frequency Plasma Modification of Fluorosiloxane Acrylate

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-03-28	2024-08-26	2024-12-12	2025-06-23
发布日期
2025-07-01

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