高功率脉冲磁控溅射制备不同氮含量CN<em><sub>x</sub></em>薄膜的摩擦学行为

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20240306002

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (3) : 272-284. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240306002

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高功率脉冲磁控溅射制备不同氮含量CN_x薄膜的摩擦学行为

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Effect of Nitrogen Content on Tribological Behavior of CN_x Films Deposited by HiPIMS

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-03-06	2024-08-20	2025-03-20	2025-06-23
发布日期
2025-07-01

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