高功率脉冲磁控溅射制备不同氮含量CNx薄膜的摩擦学行为
邢朝阳, 王新飞, 杨攀峰, 张斌, 王欣
Effect of Nitrogen Content on Tribological Behavior of CNx Films Deposited by HiPIMS
XING Zhaoyang, WANG Xinfei, YANG Panfeng, ZHANG Bin, WANG Xin
中国表面工程
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2025, (3): 272
-284
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20240306002
