磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用
雷浩， 肖金泉， 郎文昌， 张小波， 宫骏， 孙超
Application of Magnetic Field Simulation on Magnetron Sputtering and Cathodic Arc Ion Plating Deposition Techniques
LEI Hao, XIAO Jinquan, LANG Wenchang, ZHANG Xiaobo, GONG Jun, SUN Chao
中国表面工程
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2015, (2): 27
-44
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.002
