磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.002

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 27-44. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.002

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磁场模拟在磁控溅射/阴极弧离子镀中的应用

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Application of Magnetic Field Simulation on Magnetron Sputtering and Cathodic Arc Ion Plating Deposition Techniques

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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