调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

肖娜，杜菲菲，杨波

Effects of Modulation Periods on Structure and Adhesion Strength of TiN/Ti Multilayer Films

XIAO Na, DU Feifei, YANG Bo

中国表面工程 . 2015, (2): 65 -69 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.006

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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