调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响

肖娜， 杜菲菲， 杨波

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 65-69.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (2) : 65-69. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.02.006
表面工程

调制周期对TiN/Ti多层膜组织结构和结合力的影响

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Effects of Modulation Periods on Structure and Adhesion Strength of TiN/Ti Multilayer Films

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