抛光液中离子浓度对化学机械抛光过程的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

林广川，郭丹，解国新，潘国顺

Influence of Ionic Concentration of Slurry on Process of Chemical Mechanical Polishing

LIN Guangchuan, GUO Dan, XIE Guoxin, PAN Guoshun

中国表面工程 . 2015, (4): 54 -61 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.04.007

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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