抛光液中离子浓度对化学机械抛光过程的影响

林广川， 郭丹， 解国新， 潘国顺

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (4) : 54-61.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (4) : 54-61. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.04.007
表面工程

抛光液中离子浓度对化学机械抛光过程的影响

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Influence of Ionic Concentration of Slurry on Process of Chemical Mechanical Polishing

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