磁控溅射沉积BC<sub>x</sub>薄膜的摩擦学性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

尚伦霖，王立平，张广安，蒲吉斌

Tribological Properties of BC_x Films Prepared by Magnetron Sputtering

SHANG Lunlin, WANG Liping, ZHANG Guangan, PU Jibin

中国表面工程 . 2015, (5): 16 -23 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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