磁控溅射沉积BC<sub>x</sub>薄膜的摩擦学性能

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.003

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (5) : 16-23. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.05.003

表面工程

磁控溅射沉积BC_x薄膜的摩擦学性能

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Tribological Properties of BC_x Films Prepared by Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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