包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

André Anders (美)

A Structure Zone Diagram Including Plasma-based Deposition and Ion Etching

ANDERS André

中国表面工程 . 2016, (1): 1 -6 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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