包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图

André Anders (美)

中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (1) : 1-6.

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中国表面工程 ›› 2016, Vol. 29 ›› Issue (1) : 1-6. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.001
高离化磁控溅射技术与应用专辑

包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图

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A Structure Zone Diagram Including Plasma-based Deposition and Ion Etching

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