氢气流量对大面积金刚石膜沉积的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

孙祁,汪建华,刘繁,翁俊

Effects of Hydrogen Flow Rate on Deposition of Large Area Diamond Films

SUN Qi, WANG Jian-hua, LIU Fan and WENG Jun

中国表面工程 . 2018, (2): 75 -84 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171018002

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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