氢气流量对大面积金刚石膜沉积的影响

孙祁,汪建华,刘繁,翁俊

中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (2) : 75-84.

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中国表面工程 ›› 2018, Vol. 31 ›› Issue (2) : 75-84. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171018002
表面工程

氢气流量对大面积金刚石膜沉积的影响

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Effects of Hydrogen Flow Rate on Deposition of Large Area Diamond Films

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