脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

徐星,苏峰华,李助军

Effects of Pulse Bias on Structure and Properties of MoN Film Deposited by DC Magnetron Sputtering

XU Xing, SU Fenghua and LI Zhujun

中国表面工程 . 2019, (2): 54 -62 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20181106003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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