脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响

徐星,苏峰华,李助军

中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (2) : 54-62.

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中国表面工程 ›› 2019, Vol. 32 ›› Issue (2) : 54-62. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20181106003
表面工程

脉冲偏压对直流磁控溅射沉积MoN薄膜结构及性能的影响

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Effects of Pulse Bias on Structure and Properties of MoN Film Deposited by DC Magnetron Sputtering

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