新型屈臂式复合薄膜可变角溅射平台设计

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

桓茜, 王伟, 胡格格, 王婧楠

Designing New Bending Arm Variable Angle Sputtering Platform of Composite Films

HUAN Xi, WANG Wei, HU Gege, WANG Jingnan

中国表面工程 . 2026, (2): 485 -491 . DOI: 10.11933/CSE2026052

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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