新型屈臂式复合薄膜可变角溅射平台设计

桓茜, 王伟, 胡格格, 王婧楠

中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (2) : 485-491.

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中国表面工程 ›› 2026, Vol. 39 ›› Issue (2) : 485-491. DOI: 10.11933/CSE2026052
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新型屈臂式复合薄膜可变角溅射平台设计

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Designing New Bending Arm Variable Angle Sputtering Platform of Composite Films

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2026, 39(2): 485-491 https://doi.org/10.11933/CSE2026052
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2026, 39(2): 485-491 https://doi.org/10.11933/CSE2026052
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}
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