PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

刘万锁，岳向吉，蔺增

Analysis of Microchannel Structure on Jet Uniformity of PECVD Showerhead

LIU Wansuo, YUE Xiangji, LIN Zeng

中国表面工程 . 2023, (5): 222 -233 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20221202001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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