PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

刘万锁，岳向吉，蔺增

中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (5) : 222-233.

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (5) : 222-233. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20221202001
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PECVD喷淋板上微通道结构对射流均匀性的影响性分析

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Analysis of Microchannel Structure on Jet Uniformity of PECVD Showerhead

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