单晶硅原位激光辅助车削修复

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

杨思铄, 黄惟琦, 张建国, 肖峻峰

In-situ Laser Assisted Cutting Hybrid Laser Recovery for Single Crystal Silicon

YANG Sishuo, HUANG Weiqi, ZHANG Jianguo, XIAO Junfeng

中国表面工程 . 2025, (5): 147 -156 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250103001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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