纳米级金属薄膜厚度电涡流检测方法研究
李弘恺, 韩子栋, 王金龙, 陈明尚, 张彤
Study on the Eddy Current Detection Method for Nano-scale Metal Film Thickness Measurement
LI Hongkai, HAN Zidong, WANG Jinlong, CHEN Mingshang, ZHANG Tong
中国表面工程
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2025, (5): 133
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250501001
