纳米级金属薄膜厚度电涡流检测方法研究

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20250501001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (5) : 133-146. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250501001

特邀专栏：高端芯片原子级磨抛技术

纳米级金属薄膜厚度电涡流检测方法研究

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Study on the Eddy Current Detection Method for Nano-scale Metal Film Thickness Measurement

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-05-01	2025-07-15	2025-07-28	2025-10-23
发布日期
2025-09-25

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