芯片化学机械抛光中磨料技术研究进展

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

马家辉, 程洁, 陈金池, 简雷铸

Research Progress in Abrasive Technology for the Chemical Mechanical Polishing of Chips

MA Jiahui, CHENG Jie, CHEN Jinchi, JIAN Leizhu

中国表面工程 . 2025, (5): 34 -59 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20241016001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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