N2气流量对HiPIMS制备SiNx薄膜微观结构和力学性能的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

朱永明, 张斌

Effect of N₂ Flow Rates on the Microstructure and Mechanical Property of SiN_x Films Prepared by HiPIMS

ZHU Yongming, ZHANG Bin

中国表面工程 . 2025, (2): 245 -254 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20230920003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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