高功率脉冲磁控溅射轮辐特征等离子体研究综述*

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

李玉阁，刘伟阳，雷明凯

Research Review of the Plasma with Spoke Characteristic for High Power Impulse Magnetron Sputtering

LI Yuge, LIU Weiyang, LEI Mingkai

中国表面工程 . 2022, (1): 1 -9 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210424001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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