高功率脉冲磁控溅射轮辐特征等离子体研究综述*

李玉阁，刘伟阳，雷明凯

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 1-9.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (1) : 1-9. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20210424001
综述论文

高功率脉冲磁控溅射轮辐特征等离子体研究综述*

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Research Review of the Plasma with Spoke Characteristic for High Power Impulse Magnetron Sputtering

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