负偏压对低温沉积TiN薄膜表面性能的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

白秀琴^1,2，李健¹

Effect of Negative Bias Voltage on the Surface Properties of Low Temperature Deposition TiN Films

BAI Xiu-qin ^1,2, LI Jian ¹

中国表面工程 . 2005, (5): 20 -23 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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