负偏压对低温沉积TiN薄膜表面性能的影响

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中国表面工程 ›› 2005, Vol. 18 ›› Issue (5) : 20-23.

工程应用

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Effect of Negative Bias Voltage on the Surface Properties of Low Temperature Deposition TiN Films

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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