低温磁控溅射与普通多弧离子镀TiN薄膜的摩擦学性能比较

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

白秀琴^1,2，李　健¹

A Comparison of the Tribological Properties Between Low Temperature Magnetic Sputtering and Multi-arc Ion Plating TiN Films

BAI Xiu-qin ^1,2, LI Jian ¹

中国表面工程 . 2006, (1): 12 -15 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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