低温磁控溅射与普通多弧离子镀TiN薄膜的摩擦学性能比较

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中国表面工程 ›› 2006, Vol. 19 ›› Issue (1) : 12-15.

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A Comparison of the Tribological Properties Between Low Temperature Magnetic Sputtering and Multi-arc Ion Plating TiN Films

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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