BCN薄膜XPS结构分析时荷电效应的校正

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

徐淑艳，马欣新，孙明仁

Correction of Charging Effect on Structure Analyse of BCN Films by XPS

XU Shu-yan, MA Xin-xin, SUN Ming-ren

中国表面工程 . 2006, (1): 16 -20 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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