等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王浪平,王小峰,汤宝寅

The Development and Key Problems of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

WANG Lang–ping, WANG Xiao–feng, TANG Bao–yin

中国表面工程 . 2010, (1): 9 -14 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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