等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题

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中国表面工程 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (1) : 9-14.

摩擦学

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The Development and Key Problems of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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