中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

刘江,庄大明,张弓,李春雷,段宇波

Al-doped ZnO (ZAO) Films Prepared by Middle-frequency Alternative Magnetron Sputtering

LIU Jiang, ZHUANG Da?ming, ZHANG Gong, LI Chun?lei, DUAN Yu?bo

中国表面工程 . 2010, (1): 15 -18 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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