中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究

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中国表面工程 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (1) : 15-18.

表面工程

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Al-doped ZnO (ZAO) Films Prepared by Middle-frequency Alternative Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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