反应磁控溅射法制备(Ti,Al)N薄膜的力学性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

周滔,聂璞林,李铸国,黄坚,蔡珣

Mechanical Properties of (Ti,Al)N Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering

ZHOU Tao, NIE Pu–lin, LI Zhu–guo, HUANG Jian, CAI Xun

中国表面工程 . 2010, (1): 34 -38 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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