掺硅类金刚石薄膜的制备与表征

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

赵飞1,2，李红轩1，吉利1，权伟龙1,2，周惠娣1，陈建敏1

Preparation and Characterization of Si–doped Diamond–like Carbon Films

ZHAO Fei1,2, LI Hong–xuan1, JI Li1, QUAN Wei–long1,2, ZHOU Hui–di1, CHEN Jian–min1

中国表面工程 . 2010, (4): 11 -14 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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