掺硅类金刚石薄膜的制备与表征

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中国表面工程 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (4) : 11-14.

表面工程

掺硅类金刚石薄膜的制备与表征

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Preparation and Characterization of Si–doped Diamond–like Carbon Films

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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