基体负偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

蔡建，杨巍，代伟，柯培玲，汪爱英

Effect of Substrate Bias on Structure and Properties of Ta–C Films

CAI Jian, YANG Wei, DAI Wei, KE Pei–ling, WANG Ai–ying

中国表面工程 . 2010, (4): 48 -51 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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